>> 产品特点 台式小型机，PLC人机自动控制，内部无电极，用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。 >> 技术参数 ◆设备外形尺寸 630(W)×650(D)×420(H)mm ◆仓体结构(合金铝，约30升) 290(W)×290(H)×360(D)mm ◆ 放电电极(内置电容耦合电极) 180(W) ×210(D) mm ◆等离子发生器(韩国KM) 频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配 可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W) ◆控制系统 触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件, 并具有手动、自动两种模式 ◆真空系统 德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h) SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器 ◆压力控制 PID闭环自动稳压控制 ◆气路系统 2路工艺气体配置，电子质量流…[查看详情]