>> 产品特点

台式小型机，PLC人机自动控制，内部无电极，用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀、活化等工艺。

>> 技术参数

◆设备外形尺寸

630(W)×650(D)×420(H)mm

◆仓体结构(合金铝，约30升)

290(W)×290(H)×360(D)mm

◆ 放电电极(内置电容耦合电极)

180(W) ×210(D) mm

◆等离子发生器(韩国KM)

频率13.56MHZ,功率0-300W连续调节,自动阻抗匹配

可选择40KHZ中频等离子发生器(0-300W)

◆控制系统

触摸屏（7寸）+PLC单步法全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界著名品牌电器元件, 并具有手动、自动两种模式

◆真空系统

德国莱宝(Leybold)真空泵 D16C (20m3/h)

SMC截止阀、充气阀，德国(Inficon)压力传感器

◆压力控制

PID闭环自动稳压控制

◆气路系统

2路工艺气体配置，电子质量流量计、针阀，美国飞托克(FITOK)气体管路

>> 相关应用

-光刻胶清洗

-表面改性

等离子清洗机，等离子去胶机

18年专业研发生产

1. 等离子表面活化/清洗 5.等离子涂镀（亲水，疏水）

2. 等离子处理后粘合 6.增强邦定性

3. 等离子蚀刻/活化 7.等离子涂覆

4. 等离子去胶 8.等离子灰化和表面改性等场合